侯曾燏
【姓名】 侯曾燏
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 多晶硅压力传感器,灵敏度温度系数,电阻温度系数,多晶硅电阻,应变灵敏度,温度系数,掺杂浓度,硅电阻,高性能,电阻,传感器,灵敏度温度补偿,硅膜,硼掺杂,LPCVD,反行程,晶粒间界,平均晶粒尺寸,压阻...
【工作单位】 天津大学
【曾工作单位】 天津大学;
【所在地域】
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[1]朱秀文,侯曾燏,米健.高性能多晶硅压力传感器的研制[J]传感技术学报.1993,(01)
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