马春兰
【姓名】 马春兰
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 基片温度,非晶碳膜,导电机制,ECR-CVD,沉积速率,等离子体沉积,非晶碳,含氢量,气压,子体,缺陷能级,苯,氢化,击穿场强,工作气体,伏安特性,沉积室,微波功率,击穿电压,前驱物,电阻率,放电频率...
【工作单位】 苏州铁道师范学院
【曾工作单位】 苏州铁道师范学院;
【所在地域】 苏州
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[1]马春兰.氢化非晶碳膜导电机制的探索[J]铁道师院学报.2000,(04)
[2]马春兰,程珊华,宁兆元,叶超,康健,辛煜.使用ECR苯等离子体沉积含氢非晶碳薄膜[J]微细加工技术.2000,(04)
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