康健
【姓名】 康健
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 基片温度,非晶碳膜,ECR-CVD,沉积速率,等离子体沉积,非晶碳,气压,子体,含氢量,苯,工作气体,微波功率,前驱物,放电频率,质谱图,沉积室,源气体,质荷比,等离子体放电,膜生长,
【工作单位】 苏州铁道师范学院
【曾工作单位】 苏州铁道师范学院;
【所在地域】
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/1 0 1 0 0 35
中国期刊全文数据库    共找到1篇
[1]马春兰,程珊华,宁兆元,叶超,康健,辛煜.使用ECR苯等离子体沉积含氢非晶碳薄膜[J]微细加工技术.2000,(04)
更多