莘海维
【姓名】 莘海维
【职称】
【研究领域】 金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 AlN薄膜,电子浴辅助,阴极电弧源法,冷阴极电弧,反应离子镀,电子浴,机理初探,活性反应离子镀,阴极电弧源,工艺参数,基片偏压,弧源,N离子,表面工程,原子,不锈钢基片,热电子,工作气压,太原理工大学...
【工作单位】 太原理工大学
【曾工作单位】 太原理工大学;
【所在地域】 山西太原
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[1]潘俊德,田林海,莘海维,贺琦,李力.电子浴辅助阴极电弧源活性反应离子镀合成AlN薄膜[J]热加工工艺.2000,(04)
[2]潘俊德,田林海,莘海维,贺琦.电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜影响因素研究[J]热加工工艺.2000,(06)
[3]潘俊德,田林海,莘海维,贺琦,赵晋香.电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜机理初探[J]热加工工艺.2001,(01)
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