邢爱堂
【姓名】 邢爱堂
【职称】 副教授;
【研究领域】 仪器仪表工业;无线电电子学;
【研究方向】 集成电路工艺及器件特性仿真、IC
【发表文献关键词】 TSUPREM-4,微波功率测量,频率基准,工艺仿真,集成电路制造工艺,原子钟,微波功率,频标,光抽运,SUPREM,深亚微米,集成电路制造,汽室,AVANTI,仿真系统,频移,工艺模型,工艺设计,数...
【工作单位】 山东大学
【曾工作单位】 山东大学;
【所在地域】 山东济南
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[1]邢爱堂,陈慧凯,战立欣,董太乾.光抽运汽室~(87)Rb频标中的微波功率频移[J]山东工业大学学报.2000,(05)
[2]邢爱堂,靳梅,王冬青,陈景标.深亚微米集成电路制造工艺设计与仿真系统TSUPREM发展与现状[J]电子元件与材料.2001,(04)
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