宋会英
【姓名】 宋会英
【职称】 副教授;
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;物理学;
【研究方向】 电子束光刻技术、三维微加工技术的研究
【发表文献关键词】 电化学微加工,约束刻蚀剂层技术,微细加工技术,二次电子,Carlo模拟,电子束曝光,Monte,电化学方法,低能电子束,电子束,场发射,微机电系统,扫描隧道显微镜,隧道效应,散射模型,MonteCar...
【工作单位】 山东大学
【曾工作单位】 山东大学;
【所在地域】 山东济南
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[2]魏强;张玉林;宋会英;于欣蕾;.自适应控制在纳米加工微驱动器中的应用研究[J]压电与声光.2006,(04)
[3]郝慧娟;张玉林;卢文娟;宋会英;.三维结构的邻近效应校正[J]微细加工技术.2006,(04)
[4]魏强;张玉林;郝慧娟;卢文娟;宋会英;于欣蕾;.STM微位移工作台的遗传神经网络控制技术[J]微细加工技术.2006,(04)
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[6]魏强;张玉林;宋会英;郝慧娟;.扫描隧道显微镜精密工作台及其控制技术研究[J]中国机械工程.2007,(02)
[7]孔祥东,孙晓军,张玉林,宋会英.电子束真空辐射固化技术基础研究[J]微细加工技术.2004,(03)
[8]孔祥东,张玉林,宋会英.LIGA工艺的发展及应用[J]微纳电子技术.2004,(05)
[9]孔祥东,张玉林,宋会英,卢文娟.微机电系统的微细加工技术[J]微纳电子技术.2004,(11)
[10]宋会英,张玉林,孔祥东.低能电子束对抗蚀剂曝光的Monte Carlo模拟[J]微细加工技术.2004,(04)
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