卢文娟
【姓名】 卢文娟
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;环境科学与资源利用;
【研究方向】 电子束曝光技术、三维微加工技术
【发表文献关键词】 电化学微加工,约束刻蚀剂层技术,微细加工技术,电子束曝光,反应离子刻蚀,RF功率,射频功率,电化学方法,扫描隧道显微镜,微机电系统,精密工作台,神经网络理论,PID控制,自适应控制,微位移工作台,电子...
【工作单位】 山东大学
【曾工作单位】 山东大学;
【所在地域】 山东济南
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[3]魏强;张玉林;于欣蕾;郝慧娟;卢文娟;.扫描隧道显微镜微位移工作台的神经网络PID控制方法研究[J]光学精密工程.2006,(03)
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[8]孔祥东;冯圣玉;卢文娟;张玉林;.电子束液态曝光技术中的穿透深度预测研究[J]微细加工技术.2006,(06)
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[10]卢文娟;张玉林;孔祥东;郝惠娟;.电子束光刻制造软刻蚀用母板的研究[J]光电子.激光.2007,(07)
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