郝慧娟
【姓名】 郝慧娟
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;计算机软件及计算机应用;
【研究方向】 电子束三维加工及邻近效应研究
【发表文献关键词】 电子束曝光,反应离子刻蚀,RF功率,射频功率,电子束光刻,MonteCarlo模拟,曲线拟合,最小二乘法,邻近效应,扫描隧道显微镜,精密工作台,PID控制,神经网络理论,自适应控制,B型,二氧化硅,抗...
【工作单位】 山东大学
【曾工作单位】 山东大学;
【所在地域】 山东济南
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[1]郝慧娟;张玉林;卢文娟;魏强;.电子束重复增量扫描生成三维结构的研究[J]半导体学报.2006,(07)
[2]魏强;张玉林;于欣蕾;郝慧娟;卢文娟;.扫描隧道显微镜微位移工作台的神经网络PID控制方法研究[J]光学精密工程.2006,(03)
[3]魏强;张玉林;于欣蕾;郝慧娟;卢文娟;.扫描隧道显微镜精密工作台的神经网络控制[J]青岛大学学报(工程技术版).2006,(02)
[4]郝慧娟;张玉林;宋会英;魏强;.非线性曲线拟合法确定邻近效应参数[J]微细加工技术.2006,(02)
[5]郝慧娟;张玉林;卢文娟;宋会英;.三维结构的邻近效应校正[J]微细加工技术.2006,(04)
[6]魏强;张玉林;郝慧娟;卢文娟;宋会英;于欣蕾;.STM微位移工作台的遗传神经网络控制技术[J]微细加工技术.2006,(04)
[7]郝慧娟;张玉林;宋会英;.电子束抗蚀剂反差的计算[J]山东大学学报(工学版).2006,(06)
[8]魏强;张玉林;宋会英;郝慧娟;.扫描隧道显微镜精密工作台及其控制技术研究[J]中国机械工程.2007,(02)
[9]崔蕾;张玉林;伍海龙;郝慧娟;崔娜;.CHI900扫描电化学显微镜图形处理软件的改进[J]微电子学与计算机.2007,(06)
[10]卢文娟;张玉林;孔祥东;郝慧娟;.用反差确定电子束曝光剂量与刻蚀深度的关系[J]强激光与粒子束.2007,(08)
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