学者知网节

中国期刊全文数据库 共找到82篇

[2]叶超;胡忠义;.黏滞液体表面张力系数的悬滴法测量[J]大学物理实验.2023,(05)

[4]叶超;葛水兵;王海学;张书琪;韩王胤;孙江东;.磁场约束等离子体的实验演示[J]大学物理实验.2022,(03)

[6]吴茂成;叶超;刘溪悦;.27.12 MHz基片偏压在调控磁控溅射离子能量中的作用研究[J]真空科学与技术学报.2020,(04)

[8]蒋阿敏;叶超;王响英;朱敏;张苏;.Ion property and electrical characteristics of 60MHz very-high-frequency magnetron discharge at low pressure[J]Plasma Science and Technology.2018,(10)

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中国博士学位论文全文数据库 共找到1篇

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中国优秀硕士学位论文全文数据库 共找到1篇

[1]叶超.α-C：F薄膜的沉积、结构与介电性质研究[D].苏州大学.2001

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中国重要会议全文数据库 共找到10篇

[1]张海燕;叶超;宁兆元;.D5的ECR放电等离子体质谱研究[A].第十三届全国等离子体科学技术会议论文集.2007-08-20

[2]叶超;.DMCPS/CHF_3电子回旋共振等离子体对沉积F-SiCOH低介电常数薄膜的影响[A].苏州市自然科学优秀学术论文汇编(2008-2009).2010-11-01

[3]袁颖;叶超;陈天;葛水兵;刘卉敏;崔进;徐轶君;邓艳红;宁兆元;.低频功率对60MHz/20MHz双频C2F6/Ar/O2等离子体化学特性及SiCOH低k薄膜刻蚀的影响[A].第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集.2011-08-08

[4]黄福培;叶超;何海杰;刘毅;宁兆元;.RF及VHF溅射系统中离子能量分布的实验研究[A].第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集.2013-08-15

[5]辛煜;方亮;陆新华;甘肇强;康健;叶超;程珊华;宁兆元;.微波ECR-CVD的宏观参数对a-C:F膜结构的影响[A].第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集.2001-10-01

[6]狄小莲;辛煜;叶超;宁兆元;.单线圈感应耦合等离子体功率转换效率的研究[A].中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集.2004-11-01

[7]叶超;宁兆元;王婷婷;俞笑竹;.DMCPS电子回旋共振等离子体沉积SiCOH低介电常数薄膜研究[A].中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集.2004-11-01

[8]辛煜;鲁涛;叶超;宁兆元;.SiNx薄膜的制备、结构及其光学性能研究[A].中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集.2004-11-01

[9]宁兆元;程珊华;叶超;辛煜;江美福;黄松;.低介电常数薄膜沉积和性质的研究[A].中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集.2004-11-01

[10]叶超;宁兆元;王婷婷;俞笑竹;.DMCPS电子回旋共振等离子体沉积的SiCOH低介电常数薄膜结构及物性研究[A].中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集.2004-11-01

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承担国家科研项目 共找到2个

[1]叶超;.纳电子器件中超低k多孔SiCOH薄膜的ECR等离子体加工及相关复杂性研究[A].苏州大学;.项目经费 36万元.2005-03-31.资助文献数 9 篇

[2]叶超.多频等离子体与硅基软物质的作用研究[A].苏州大学.项目经费 40万元.2009-03-20.资助文献数 0 篇

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【姓名】	叶超
【职称】	教授;
【研究领域】	物理学;工业通用技术及设备;材料科学;
【研究方向】	凝聚态物理和等离子体物理与技术的研究
【发表文献关键词】	栅网,CHF3,CHF3分解,偏压,电子回旋共振放电,C6H6,CC双键,介电色散,直流伏安特性,氟化非晶碳薄膜,电子回旋共振等离子体,氟化非晶碳(aC∶F)薄膜,感应耦合等离子体,光刻胶,放电等离...
【工作单位】	苏州大学
【曾工作单位】	苏州大学;
【所在地域】	苏州

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