康健
【姓名】 康健
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 刻蚀,沉积,非晶碳薄膜,ECR等离子体化学气相沉积,ECR等离子体,ECR等离子体沉积,氟化非晶碳薄膜,键结构,电子极化,碳薄膜,αC∶F薄膜,直流电阻,介电性质,aC∶F薄膜,非晶碳膜,光学带隙,a...
【工作单位】 苏州大学
【曾工作单位】 苏州大学;
【所在地域】 江苏苏州
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[7]宁兆元,马春兰,程珊华,康健,辛煜,叶超.使用ECR等离子体沉积和刻蚀非晶碳薄膜(英文)[J]人工晶体学报.2000,(03)
[8]程珊华,宁兆元,康健,马春兰,叶超.沉积温度对含氢非晶碳膜电学性质的影响[J]物理学报.2000,(10)
[9]康健,叶超,辛煜,程珊华,宁兆元.ECR-CVD沉积a-C∶F薄膜[J]功能材料.2001,(05)
[10]叶超,康健,宁兆元,程珊华,陆新华,项苏留,辛煜,方亮.α-C∶F薄膜的键合结构与电子极化研究[J]功能材料.2001,(05)
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[1]辛煜;方亮;陆新华;甘肇强;康健;叶超;程珊华;宁兆元;.微波ECR-CVD的宏观参数对a-C:F膜结构的影响[A].第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集.2001-10-01
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