曹宝成
【姓名】 曹宝成
【职称】 教授;
【研究领域】 无线电电子学;工业通用技术及设备;
【研究方向】 半导体清洗技术的研究
【发表文献关键词】 非晶薄膜,清洗工艺,电子清洗,光电性质,I-V特性,光电材料与器件,硅片,溶液清洗,非晶,XPS,太阳电池,半导体性质,光感,多晶,英文,有机衬底,Ⅱ-Ⅵ族化合物,清洗技术,化合物,山东大学,表面清洗...
【工作单位】 山东大学
【曾工作单位】 山东大学;
【所在地域】 济南
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[1]刘建强,李玉香,肖洪地,刘万里,曹宝成,马洪磊.精密金属零件非ODS清洗技术研究[J]山东大学学报(理学版).2004,(03)
[2]张树永,郭永榔,曹宝成,于新好.超大规模集成电路硅片溶液清洗技术的进展[J]化学进展.2000,(01)
[3]曹宝成,于新好,马瑾,马洪磊,刘忠立.用含表面活性剂和螯合剂的清洗液清洗硅片的研究[J]半导体学报.2001,(09)
[4]郝晓涛,马瑾,马洪磊,田茂华,曹宝成,叶丽娜,程传福,滕树云.低温磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al透明导电膜的结构及特性[J]中国科学(A辑).2001,(09)
[5]曹宝成,于新好,马洪磊,张庆坤.氢氟酸在新型清洗工艺中的作用[J]半导体技术.2002,(07)
[6]曹宝成,于新好,马洪磊.新型半导体清洗剂的清洗工艺[J]半导体学报.2002,(07)
[7]马洪磊,曹宝成,宗福建,李玉香.新型电子清洗工艺[J]微电子技术.1997,(01)
[8]曹宝成,马洪磊,宗福建,李玉香.新型电子工业清洗工艺研究[J]山东电子.1998,(04)
[9]马洪磊,曹宝成,李淑英,陆大荣.稀释气体对GD淀积a-Si:H膜的光电性质的影响[J]半导体学报.1984,(05)
[10]马洪磊,曹宝成,李淑英,陆大荣.a—Si∶H(He)和a—Si∶H合金的光电性质[J]山东大学学报(自然科学版).1984,(02)
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[1]曹宝成;.含表面活性剂的清洗工艺对硅片表面的影响[A].山东大学;.项目经费 5万元.2001-03-31.资助文献数 2
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