张宗铭
【姓名】 张宗铭
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 区熔,再结晶,亚晶界,定域,硅膜,多晶硅,晶向,热沉,结晶膜,晶界,扫描方向,Raman谱,制条,结晶硅,多晶,石墨,氧化硅,子学,结晶,微电,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]柳连俊,钱佩信,张宗铭,潘子康,李志坚.定域SOI区熔再结晶研究[J]半导体学报.1989,(11)
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