张树红
【姓名】 张树红
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 金属化,体物理,半导,氮化钨,半导体器件,可靠性,浅结,扩散阻挡层,系统研究,接触电阻,氮含量,溅射,金属化系统,钨薄膜,接触电阻特性,结深,钛,反向特性,结构特性,组分变化,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]施戈,张树红,蒋志.基于WN_x的金属化系统研究[J]微电子学.1997,(04)
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