张翠林
【姓名】 张翠林
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 静压气浮导轨,电子束曝光机,工件台,导轨,气浮导轨,闭式,气腔,节流孔,气浮,液体静压导轨,压力分布,平面导轨,最大刚度,承载能力,细工,静压导轨,西安交大,工作载荷,改进法,空气间隙,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]张翠林,徐丰仁,傅小艺,李友勤.电子束曝光机工件台X向静压气浮导轨的研制[J]微细加工技术.1989,(02)
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