谢俊清
【姓名】 谢俊清
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离化团束,硬质,吸收谱,低分子量聚乙烯,晶粒,光电子谱,红外,化学键合,晶面距,离子辅助,氮含量,反应气体,非晶态,伸缩振动,衍射谱,原子,硬质薄膜,溅射,晶粒数,衍射环,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]谢俊清，冯嘉猷，郑毅.反应离化团束（RICB）法生长CN硬质薄膜[J]材料研究学报.1996,(05)
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