谢会开
【姓名】 谢会开
【职称】
【研究领域】 临床医学;自动化技术;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅杯,集成,腐蚀,微马达,硅基集成,转子,晃动马达,多信号输出,簧片式硅弹性膜,单面光刻,离子注入,集成压力传感器,多晶硅,感器,法兰,硅膜,多晶,硅压力传感器,转速估计,转子半径,牺牲层,空腔,轴承...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/9 3 3 2 12 929
中国期刊全文数据库    共找到5篇
[1]刘理天,谢会开,费圭甫.硅杯型集成压力传感器的研制[J]仪表技术与传感器.1994,(01)
[2]孙曦庆，谢会开，刘理天，李志坚，钱佩信.一种硅基集成微晃动马达[J]半导体学报.1995,(02)
[3]谢会开，孙曦庆，刘理天，李志坚.硅基集成微马达的研制[J]仪器仪表学报.1995,(S1)
[4]温明生,唐世洪,刘理天,谢会开.簧片式硅压力传感器的研制[J]传感技术学报.1995,(01)
[5]谢会开;李卫;.光电化学电池(PEC)分解水制氢技术[J]能源研究与利用.1993,(01)
更多