夏维
【姓名】 夏维
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子束混合,硅化物,金属硅化物,热退火,金属膜,增强扩散,硅系统,Si系,合量,入射,Si基片,生成量,类过程,平方根,难熔金属硅化物,辐照,低能加速器,标志层,成正比,离子轰击,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]夏维,马恩,柳百新.离子束混合与金属硅化物的形成[J]微细加工技术.1986,(01)
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