汪键如
【姓名】 汪键如
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 聚焦离子束,离子光学,微细加工,束斑,电源稳定度,预聚焦,亚微米,离子源,能散,象点,中高压,光学系统,离子能量,聚焦电压,色差,透镜,极高压,纹波系数,象差,高压电源,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]康文运,董桂芳,应根裕,汪键如.内热式液态合金离子源[J]真空电子技术.1997,(02)
[2]董桂芳,汪键如,应根裕,张克潜.聚焦离子束光学系统中高压电源稳定度对获得亚微米束斑影响的研究[J]微细加工技术.1998,(04)
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[1]应凯;汪键如;.投影管测试台数据采集系统[A].中国电子学会真空电子学分会第十三届学术年会论文集(上).2001-08-01
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