石蕊
【姓名】 石蕊
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光刻,光学邻近矫正,掩膜光学临近矫正,基于模型的光学邻近矫正,掩模,规则库,对象模型,掩膜,相关处理,基于规则,掩模版,基于模型,化算,英文,图形,成品率,线端,计算机科学与技术,移动方向,衬线,SP...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]蔡懿慈;周强;洪先龙;石蕊;王旸;.光学邻近效应矫正(OPC)技术及其应用[J]中国科学(E辑:信息科学).2007,(12)
[2]杨长旗,洪先龙,吴为民,蔡懿慈,石蕊.对象模型在集成电路掩膜光学临近矫正中的应用[J]计算机辅助设计与图形学学报.2003,(03)
[3]王旸,蔡懿慈,石蕊,洪先龙.成品率驱动下基于模型的掩模版优化算法[J]半导体学报.2004,(03)
[4]石蕊,蔡懿慈,洪先龙,吴为民,杨长旗.基于规则的光学邻近矫正中规则的相关处理(英文)[J]半导体学报.2002,(07)
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