吕晓青
【姓名】 吕晓青
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】 微机械特性的研究
【发表文献关键词】 拉伸破坏特性,多晶硅,拉伸破坏,微构件,微电子机械系统,力学特性,微型机械,机械特性,微梁,表面工艺,质量块,破坏特性,MEMS,旋转台,转台,精密仪器,微拉伸,微型机电系统,硅梁,LPCVD,硅微加...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]叶雄英,朱俊华,吕晓青,周兆英,禚玉炜.多晶硅微构件拉伸破坏特性的测量[J]机械强度.2001,(04)
[2]吕晓青,叶雄英,周兆英,禚玉伟.多晶硅微构件拉伸破坏特性的测量[J]测试技术学报.1998,(03)
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