路新春
【姓名】 路新春
【职称】 教授;研究员;
【研究领域】 金属学及金属工艺;无线电电子学;机械工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 录音带,薄膜润滑,原子力/摩擦力显微镜,表面形貌,微观摩擦学,结构,Fe-N/TiN多层膜,润滑失效,纳米摩擦学,超滑,气体薄膜,微摩擦,微摩擦力,Knudsen数,材料去除机理,界面,多层膜,纳米尺...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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中国期刊全文数据库    共找到60篇
[1]张力飞;路新春;.面向原子级平坦化的化学机械抛光技术：后摩尔时代的挑战与进展[J]表面技术.2025,(23)
[2]王广基;柴智敏;路新春;.基于亲/疏水图案化基底限域吸附生成液滴最大高度的数值研究[J]清华大学学报(自然科学版).2025,(02)
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[4]张力飞;王同庆;赵德文;路新春;.集成电路钴互连异质结构晶圆化学机械抛光[J]清华大学学报(自然科学版).2025,(02)
[5]张力飞;路新春;张佳磊;赵德文;.钴化学机械抛光中抛光液及清洗剂的研究进展[J]材料导报.2025,(06)
[6]杨阔;柴智敏;戴媛静;刘宇宏;路新春;.单晶金刚石表面平坦化技术的发展与挑战[J]中国表面工程.2025,(05)
[7]王同庆;赵德文;路新春;.集成电路抛光与减薄装备及耗材的应用和发展[J]微纳电子与智能制造.2022,(01)
[8]石宏宇;刘宇宏;路新春;.生物黏液的润滑特性研究进展[J]摩擦学学报.2016,(06)
[9]赵德文;路新春;.300mm晶圆化学机械抛光流体润滑行为研究[J]机械工程学报.2014,(02)
[10]王同庆;路新春;赵德文;门延武;何永勇;.300mm晶圆化学机械抛光机关键技术研究与实现[J]机械工程学报.2014,(05)
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中国重要会议全文数据库    共找到9篇
[1]王振扬;王同庆;路新春;.聚合物表面活性剂对浅沟槽隔离化学机械抛光的影响[A].中国稀土学会2023学术年会、第十五届中国包头·稀土产业论坛摘要集.2023-08-15
[2]王吉会;贺小明;路新春;温诗铸;.等离子辅助沉积DLC膜的结构和微摩擦磨损特性[A].第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集.1998-10-13
[3]史兵;雒建斌;路新春;秦力;温诗铸;魏秉庆;张华堂;梁吉;高志栋;吴德海;.巴基管做润滑油添加剂的摩擦学性能研究[A].第三届全国青年摩擦学学术会议论文集.1995-07-01
[4]路新春;史兵;雒建斌;温诗铸;.扫描探针显微镜在纳米摩擦学研究中的应用[A].第三届全国青年摩擦学学术会议论文集.1995-07-01
[5]潘国顺;雒建斌;路新春;.离子镀CrN硬质膜的组织结构及其抗空蚀性能[A].第七届全国摩擦学大会会议论文集（一）.2002-08-01
[6]荆阳;雒建斌;路新春;.压电薄膜微致动器及其特性分析[A].人才、创新与老工业基地的振兴——2004年中国机械工程学会年会论文集.2004-10-01
[7]徐进;雒建斌;路新春;潘国顺;.硅片化学机械抛光碰撞去除机理研究[A].人才、创新与老工业基地的振兴——2004年中国机械工程学会年会论文集.2004-10-01
[8]张伟;路新春;刘宇宏;雒建斌;.氨基乙酸-H_2O_2体系抛光液中铜的化学机械抛光研究[A].第八届全国摩擦学大会论文集.2007-11-01
[9]解国新;雒建斌;何雨;刘书海;张晨辉;路新春;.静态接触中电致微气泡特性研究[A].第八届全国摩擦学大会论文集.2007-11-01
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承担国家科研项目    共找到3个
[1]路新春;.高温自润滑长寿命复合涂层制备及其摩擦学行为研究[A].清华大学;.项目经费 25万元.2005-03-31.资助文献数 2 篇
[2]路新春;.纳米薄膜的微观机械性能评价理论及方法[A].清华大学;.项目经费 20万元.2001-03-31.资助文献数 2 篇
[3]路新春;.极大规模集成电路铜互连平坦化新原理及其应用研究[A].清华大学;.项目经费 200万元.2008-03-20.资助文献数 0 篇
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