刘仲春
【姓名】 刘仲春
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 两步退火,硅化物,薄膜反应,氮化物,钛,快速退火,俄歇,选择腐蚀,自对准技术,方块电阻,扩散阻挡层,低温退火,微电,退火温度,深度剖面,硅化物技术,自对准,钛氮化,薄膜电阻,清华大学,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]何杰,刘仲春,栾洪发,刘理天,钱佩信.两步退火形成钛硅化物和氮化物的研究[J]真空科学与技术.1996,(03)
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