刘燕翔
【姓名】 刘燕翔
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 体声波,谐振器,PZT薄膜,射频滤波器,刻蚀,锆钛酸铅,微电子机械系统,滤波器,溶胶-凝胶,建设,KOH,超声搅拌,压电薄膜,支撑膜,刻蚀工艺,各向异性腐蚀,MEMS,腐蚀速率,频点,表面粗糙度,PZ...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]任天令,赵宏锦,丛鹏,刘燕翔,刘建设,刘理天,李志坚.Optimization of PZT-Based Radio-Frequency Filters[J]Tsinghua Science and Technology.2003,(02)
[2]刘燕翔,任天令,刘理天.采用PZT薄膜的体声波RF滤波器设计[J]压电与声光.2001,(01)
[3]赵宏锦,刘建设,任天令,刘燕翔,刘理天,李志坚.硅基PZT薄膜的制备与刻蚀工艺研究[J]压电与声光.2001,(04)
[4]丛鹏,刘燕翔,任天令,刘理天.基于硅表面加工工艺的射频体声波滤波器研究[J]压电与声光.2002,(01)
[5]陈兢,刘理天,李志坚,谭智敏,蒋前哨,方华军,徐扬,刘燕翔.使用超声搅拌实现精密KOH各向异性体硅腐蚀[J]半导体学报.2002,(04)
[6]刘燕翔,任天令,刘理天.PZT材料在射频滤波器中的应用[J]固体电子学研究与进展.2002,(02)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]刘燕翔;任天令;刘理天;.采用PZT薄膜的射频滤波器研究[A].第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集.2000-11-01
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