李云平
【姓名】 李云平
【职称】
【研究领域】 机械工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微装配,微器件,微系统,装配系统,扫描电子显微镜,机械手,微装配系统,微机械构件,关键技术,三轴力,工作台,右机,旋转自由度,应力计,微机械,光学显微镜,感器,六自由度,平行板,键合工艺,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]李云平,龙志峰,李庆祥,王晓晔,薛实福.微器件装配系统与关键技术[J]光学精密工程.1997,(03)
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