李煜
【姓名】 李煜
【职称】 助教;
【研究领域】 建筑科学与工程;无线电电子学;贸易经济;
【研究方向】
【发表文献关键词】 设备模型,工艺模拟,离子注入,沟道效应,干法刻蚀,氮化硅,集成电路工艺,氮化硅薄膜,刻蚀工艺,半导体工艺,实验数据,工艺模型,非均匀性分布,crystalline,工艺实验,IEEE,子学,Monte...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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