李军俊
【姓名】 李军俊
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 谐振梁,微加速度传感器,压阻效应,微机械加工技术,硅微加速度传感器,硅梁,谐振子,梁结构,压阻,模态,感器,支撑梁,交变分量,加速度传感器,固支,单梁,电阻,体硅,能量耦合,单梁结构,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]李军俊,刘理天,杨景铭.新型硅微加速度传感器的设计与制作[J]清华大学学报(自然科学版).1999,(S1)
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