查杉
【姓名】 查杉
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;电力工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 磁控溅射,ZGO薄膜,溅射功率密度,电阻率,透过率,太阳能电池,CuInS2薄膜,固态源蒸发硫化,硫源温度,硫化法,中频交流磁控溅射,表面形貌,制备,薄膜性能,黄铜矿结构,扫描电镜,晶粒大小,能量色散...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]查杉;元金石;张弓;庄大明;.铜铟硫薄膜的固态硫化法制备及其性能研究[J]真空科学与技术学报.2007,(01)
[2]赵方红,庄大明,张弓,查杉.功率密度对中频磁控溅射制备的氧化锌镓薄膜性能的影响[J]真空科学与技术学报.2005,(03)
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