谭玉华
【姓名】 谭玉华
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 雾缺陷,金属杂质,氧化雾,金属杂质沾污,内吸除,层错,区熔单晶,热氧化,重掺锑,单晶,蚀象,半导,污区,热氧化处理,体材料,深腐蚀,直拉单晶,器件工艺,滴加,腐蚀坑,
【工作单位】 四川省峨眉半导体材料研究所
【曾工作单位】 四川省峨眉半导体材料研究所;
【所在地域】
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[1]徐冬良,郭如芳,李吉海,谭玉华,余斌,燕朝林.硅片上的金属杂质沾污与氧化雾缺陷[J]稀有金属.1984,(05)
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