郭如芳
【姓名】 郭如芳
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 雾缺陷,微缺陷,直拉硅单晶,氧化时间,缺陷密度,检测条件,氧化雾,金属杂质,蚀象,深腐蚀,热氧化,层错,体层,金属杂质沾污,硅单晶,半导,单晶,氧化气氛,腐蚀深度,化学腐蚀法,氧化层错,原生微缺陷,内...
【工作单位】 四川省峨眉半导体材料研究所
【曾工作单位】 四川省峨眉半导体材料研究所;
【所在地域】
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[1]徐冬良,郭如芳,李吉海,谭玉华,余斌,燕朝林.硅片上的金属杂质沾污与氧化雾缺陷[J]稀有金属.1984,(05)
[2]徐冬良,郭如芳.直拉硅单晶中微缺陷的检测条件[J]稀有金属.1985,(02)
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