于剑
【姓名】 于剑
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 金刚石薄膜,硬质合金衬底,碳源浓度,成核密度,衬底温度,金刚石,生长因素,影响因素,底表面,热丝,碳原子,钴,表面碳,原子浓度,原子氢,研磨,成核,氢原子,衬底预处理,原子,
【工作单位】 南开大学
【曾工作单位】 南开大学;
【所在地域】
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[1]邵淑敏,吕向英,于剑,丁乐礼,席光康,张猛,周志强,李胜林,彭华军,邵牟舟.影响金刚石薄膜生长因素的研究[J]真空.1998,(04)
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