张友发
【姓名】 张友发
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 溅射靶,热幅,溅射源,冷却水,镀膜室,换热,磁控,同轴,圆柱形,支撑管,系数α,热幅射,换热计算,定性温度,传热学,内壁,热流量,管壁,放热系数,接触温度,
【工作单位】 四川联合大学
【曾工作单位】 四川联合大学;
【所在地域】
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[1]王芳汀,江忠友,张友发,王良明.同轴圆柱形磁控溅射源的换热分析与冷却水参数选择[J]真空.1997,(05)
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