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王廷鉴
【姓名】
王廷鉴
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
NH_4Cl,钝化作用,氯源,MOS电容,氯化铵,MOS器件,加热丝,C-V曲线,氧化气氛,干氧氧化,平面器件,热氧化,纯化系统,Na~+,氧化炉,掺入,三氯乙烯,换管,氧化时间,钒丝,
【工作单位】
四川大学
【曾工作单位】
四川大学;
【所在地域】
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共找到1篇
[1]王廷鉴.
Si的掺氯化铵(NH_4Cl)氧化的钝化作用的初步研究
[J]半导体技术.1983,(06)
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