李子森
【姓名】 李子森
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 多离子束反应共溅射,溅射,反应气体,低价氧化物,金属氧化物薄膜,高价氧化物,总流量,面积百分比,溅射速率,反应溅射,金属靶,离子束,组元,共溅射,S形,腔壁,反应室,滞回效应,有效面积,数值计算,流密...
【工作单位】 四川大学
【曾工作单位】 四川大学;
【所在地域】 成都
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[1]肖定全,韦力凡,李子森,朱建国,钱正洪,彭文斌.金属氧化物薄膜的多离子束反应共溅射模型(Ⅰ)——模型建立[J]物理学报.1996,(02)
[2]肖定全,韦力凡,李子森,朱建国,钱正洪,彭文斌.金属氧化物薄膜的多离子束反应共溅射模型(Ⅱ)——数值计算与结果讨论[J]物理学报.1996,(02)
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