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蒋贤华
【姓名】
蒋贤华
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
溅射,离子源,引出电压,束流,总束流,灯丝,热屏蔽,溅射源,辅助气体,氮离子,金属表面改性,氩离子,铜离子,合金,辅助磁场,弧压,元素,磁场线圈,极头,灯丝电流,
【工作单位】
四川大学
【曾工作单位】
四川大学;
【所在地域】
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共找到1篇
[1]黄宁康,蒋贤华,徐自力.
溅射离子源的初步调试
[J]微细加工技术.1986,(01)
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