余仕诚
【姓名】 余仕诚
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 本征吸除,氧沉淀,间隙氧,高温退火,微缺陷,氧化气氛,扩散激活能,外扩散,退火时间,关系曲线,温度,退火气氛,三步退火,硅中氧,样片,氧浓度,间隙原子,过剩硅,缺陷密度,实验结果,
【工作单位】 四川大学
【曾工作单位】 四川大学;
【所在地域】
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[1]谢茂浓 ,余仕诚,庞爱兵.高温退火气氛对Denuded Zones的影响[J]四川大学学报(自然科学版).1988,(02)
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