田文彦
【姓名】 田文彦
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 准分子激光光刻,准分子激光,激光光刻,正胶,准分子,光致抗蚀剂,光刻胶,光能量,消色差,XeCl准分子激光,发展状况,实验研究,XeCl激光,胶膜厚度,KrF准分子激光,暴光时间,显影液,四甲基氢氧化...
【工作单位】 四川大学
【曾工作单位】 四川大学;
【所在地域】 成都
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[1]田文彦,曾传相,潘大任,谢辉,周业为,谢健.准分子激光光刻AZ1350SF正胶的实验研究[J]四川大学学报(自然科学版).1992,(04)
[2]田文彦,曾传湘,潘大任,周业为.准分子激光光刻的发展状况[J]激光杂志.1992,(03)
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