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阎晓茹
【姓名】
阎晓茹
【职称】
【研究领域】
自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】
表面微观形貌测量,轮廓仪,在线检测,表面微观形貌,在线检测仪,高分辨率,超精,无接触,冰洲,横向分辨率,差动干涉仪,石晶体,测量信号,激光管,激光轮廓仪,参考信号,激光应用,参考臂,垂直分辨率,测量系...
【工作单位】
四川大学
【曾工作单位】
四川大学;
【所在地域】
成都
学术成果产出统计表
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共找到1篇
[1]余廷浩,周肇飞,黄伟,阎晓茹.
超精细表面微观形貌无接触在线检测仪
[J]中国测试技术.2004,(06)
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