刘建莉
【姓名】 刘建莉
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;仪器仪表工业;
【研究方向】 波前工程技术研究
【发表文献关键词】 驻波效应,抗蚀剂,显影轮廓,ICF,光刻,低频波前畸变,傅里叶,曝光剂量,衍射光学元件,相位校正,光束整形,滤波片,分离角,标量衍射理论,厚胶,追迹,衍射效率,位相元件,衍射光学,环形光束,惯性约束核...
【工作单位】 四川大学
【曾工作单位】 四川大学;
【所在地域】 四川成都
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/5 3 4 2 31 1108
中国期刊全文数据库    共找到4篇
[1]刘世杰,杜惊雷,彭钦军,高福华,刘驰,刘建莉.用于惯性约束核聚变(ICF)激光驱动系统中集成衍射光学元件的特性研究[J]四川大学学报(自然科学版).2004,(01)
[2]刘世杰,杜惊雷,肖啸,唐雄贵,彭钦军,刘建莉,郭永康.光刻中驻波效应的影响分析[J]微纳电子技术.2004,(02)
[3]高峰,刘建莉,高福华,刘世杰,郭永康.利用边缘相位校正实现光束整形的高精度优化[J]光学学报.2004,(08)
[4]刘建莉,高峰,杜惊雷,罗铂靓,段茜.用于分数傅里叶域滤波位相元件设计新算法[J]光电工程.2005,(03)
更多
中国优秀硕士学位论文全文数据库    共找到1篇