张素明
【姓名】 张素明
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 准分子,超导膜,真空系统,激光烧蚀,激光淀积,副室,工作台,激光烧蚀法,靶材,原位更换,加热器,机械手,高温超导薄膜,阴极,石英,分子泵,图形刻蚀,等离子清洗,水冷电极,线位,
【工作单位】 南京大学
【曾工作单位】 南京大学;
【所在地域】
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[1]穆仲良，何永国，廖信生，张素明.准分子激光淀积装置真空系统的设计[J]南京大学学报(自然科学版).1994,(04)
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