顾清
【姓名】 顾清
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 激光结晶,氢释放,SOI结构,非晶硅,晶粒间界,快速热退火,扩散机制,氢化,快速退火,结晶区,离子注入,下界面,晶界,热处理,结晶层,台阶,晶粒,剖面TEM,电导率,杂质,快扩散,结晶,气泡,不同衬底...
【工作单位】 南京大学
【曾工作单位】 南京大学;
【所在地域】 南京
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[1]顾清,鲍希茂.激光结晶a-Si:H SOI离子注入和快速退火[J]半导体学报.1989,(01)
[2]鲍希茂,顾清,黄信凡.衬底对a-Si:H激光结晶的影响[J]半导体学报.1989,(03)
[3]顾清;鲍希茂;.用透射电镜和Raman谱研究非晶硅晶化过程[J]南京大学学报(自然科学版).1991,(04)
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