姚朋军
【姓名】 姚朋军
【职称】
【研究领域】 自动化技术;有机化工;化学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 多孔硅,牺牲层,加速度传感器,微加工,微机电系统,牺牲层技术,压阻式,分析和设计,英文,TMAH,子学,微电,清华大学,自停止,沈阳师范大学,艺能,传感器设计,MEMS,Steiner,CMOS工艺,
【工作单位】 沈阳师范大学
【曾工作单位】 沈阳师范大学;
【所在地域】 沈阳
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[2]唐伟;王兢;姚朋军;杜海英;孙炎辉;.ZnO掺杂的SnO_2纳米纤维的制备、表征及气敏机理(英文)[J]物理化学学报.2014,(04)
[3]苏梅英;王兢;姚朋军;李晓干;郝育闻;.ZrO_2:TiO_2复合纳米纤维湿度传感器的直、交流特性研究[J]传感技术学报.2011,(12)
[4]姚朋军;王兢;赵林;戚金清;苏梅英;.水热合成法制备La_(0.7)Sr_(0.3)FeO_3纳米线的合成机理研究[J]功能材料.2012,(08)
[5]陈鹏鹏;王兢;姚朋军;杜海英;李晓干;.In_2O_3/CdO复合材料的制备及气敏特性(英文)[J]物理化学学报.2012,(06)
[6]周俊,王晓红,姚朋军,董良,刘理天.基于多孔硅牺牲层技术的压阻式加速度传感器的分析和设计(英文)[J]半导体学报.2003,(07)
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