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周立萍
【姓名】
周立萍
【职称】
【研究领域】
自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】
薄膜型,感器,湿度传感器,湿敏膜,P—N结,电阻加热器,高频溅射,测湿,热清洗,敏感膜,硅平面工艺,敏感机理,薄膜工艺,湿敏,基础材料,测温元件,致性,硅材料,复合氧化物,扩散法,
【工作单位】
沈阳工业大学
【曾工作单位】
沈阳工业大学;
【所在地域】
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[1]李云鹏,孙承松,周立萍,吕力川.
薄膜型集成温——湿度传感器
[J]仪表技术与传感器.1990,(04)
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