李晔辰
【姓名】 李晔辰
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅岛膜,金硅共熔,烧结,CAD,硅硅直接键合,ANSYS,阳极键合,MEMS,静电键合,硅片键合,有限元,硅直接键合,玻璃焊料,平行移动,传感器芯片,耗尽层,热氧化,压力灵敏度,键合工艺,抛光硅片,键...
【工作单位】 沈阳工业大学
【曾工作单位】 沈阳工业大学;
【所在地域】
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[1]李和太,李晔辰.硅片键合技术的研究进展[J]传感器世界.2002,(09)
[2]李晔辰,孙承松.ANSYS在硅岛膜设计中的应用[J]传感器世界.2002,(11)
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中国优秀硕士学位论文全文数据库    共找到1篇
[1]李晔辰.硅电容式差压传感器的研制[D].沈阳工业大学.2003
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