肖森荣
【姓名】 肖森荣
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 敏感元件,微粒子,敏感膜,多功能,硅平面工艺,特性测量,还原性气体,外延片,正向压降,散出,n型,主要结构,氧化层,结二极管,环境温度,加热电阻,扩散电阻,热清洗,相对湿度,温度升高,
【工作单位】 沈阳工业大学
【曾工作单位】 沈阳工业大学;
【所在地域】
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[1]肖森荣,孙承松,李云鹏,周立军.微粒子多功能(温、气、湿)敏感元件的研制[J]传感器技术.1987,(Z1)
[2]李云鹏;肖森荣;孙承松;周立军;.TiO_2SnO_2系新型湿敏元件的研制[J]自动化仪表.1987,(03)
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