荣廷
【姓名】 荣廷
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 活化法,硅表面,清洗剂,辐照,半导体器件,能谱图,半导体硅片,清洗工艺,洗硅,试剂,清洗效果,清洗液,核反应,双氧水,强烈腐蚀,生产工艺,流强,去离子水,钠含量,混合酸,
【工作单位】 上海原子核科学技术研究所
【曾工作单位】 上海原子核科学技术研究所;
【所在地域】
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[1]荣廷(一乂),秦俊法,林森浩,王学波.氘子活化法测定硅表面钠[J]半导体技术.1981,(05)
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