李丁
【姓名】 李丁
【职称】
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 激光诱导掺杂,诱导掺杂,光分解光刻,气相光刻,刻光,激光诱导化学,激光诱导,激光化学,气相化学,PN结,光电流密度,刻蚀速率,薄膜,激光诱导铝热反应,光电灵敏度,光电池,光强,速率变化,热化学,硅光电...
【工作单位】 上海市激光技术研究所
【曾工作单位】 上海市激光技术研究所;
【所在地域】
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[1]周政卓,李丁,邱明新.激光诱导掺杂[J]中国激光.1986,(09)
[2]李丁,顾原岗,沈光平,邱明新.激光诱导直接化学光刻[J]光学学报.1987,(01)
[3]周政卓,李丁,邱明新,周玉良.激光气相化学诱导掺杂制作超薄结硅光电池及其参数研究[J]中国激光.1987,(09)
[4]李丁,邱明新,匡忠.激光诱导气相热化学光刻的阈值及速率变化特性[J]中国激光.1987,(10)
[5]邱明新,周政卓,李丁,沈光平.激光诱导固体表面化学过程的若干研究[J]中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学).1987,(11)
[6]李丁,周政卓,曾永健,龚焕明,邱明新,林成鲁.激光诱导铝热反应在多晶硅上制备Ni和NiSi_2薄膜[J]中国激光.1989,(01)
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