蔡建中
【姓名】 蔡建中
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微机构,IC工艺,微平面,微机械,微型,多晶硅,结构设计,铰链,固定铰链,精密机械,四杆机构,制造过程,牺牲层,大厚度,杆机构,工艺过程,LIGA工艺,平台机构,运动范围,回转副,
【工作单位】 上海科技大学
【曾工作单位】 上海科技大学;
【所在地域】 上海
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[1]李伟,陆景唐,季超仁,宋汉斌,董鸣,蔡建中.微平面机构的结构设计与制造[J]光学精密工程.1993,(06)
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