张丛春
【姓名】 张丛春
【职称】 副教授;
【研究领域】 仪器仪表工业;无线电电子学;工业通用技术及设备;
【研究方向】 微细加工、薄膜材料和元件
【发表文献关键词】 反应离子刻蚀,PMMA,侧壁钝化,高深宽比,CHF3,刻蚀速率,反应离子,微机电系统,有机玻璃,Cu互连,空气气隙,牺牲层材料,低介电常数,电容,悬空结构,深刻蚀,微结构,自偏压,互连延迟,互连线,测...
【工作单位】 上海交通大学
【曾工作单位】 上海交通大学;
【所在地域】 上海
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[1]雷鹏;张丛春;庞雅文;杨伸勇;张梅菊;.Fabrication and Performance Investigation of Karma Alloy Thin Film Strain Gauge[J]Journal of Shanghai Jiao Tong University(Science).2021,(04)
[2]张梅菊;郭怡雪;黄漫国;杜子睿;康志鹏;张丛春;.高温陶瓷薄膜热流传感器动态响应有限元分析[J]测控技术.2023,(11)
[3]张丛春;康志鹏;雷鹏;闫博;.用于特殊环境的薄膜应变计的制备与表征[J]传感技术学报.2024,(04)
[4]闫博;黄漫国;郭林琪;梁晓波;张丛春;.双离子束溅射Al_2O_3高温绝缘薄膜的氧分压研究[J]测控技术.2022,(12)
[5]郭怡雪;张梅菊;黄漫国;高向向;郭林琪;张丛春;.高温MEMS薄膜热流传感器研究进展[J]微纳电子技术.2023,(02)
[6]康志鹏;张梅菊;郭怡雪;王禹森;黄漫国;张丛春;.基于有限元模拟的薄膜热流计冲击振动分析[J]测控技术.2023,(06)
[7]吕振杰;庞雅文;杨伸勇;高向向;张丛春;.氧化铂、钛过渡层对铂薄膜温度传感器性能的影响[J]传感器与微系统.2023,(10)
[8]金毅;张梅菊;苗青;郭林琪;张丛春;.用于生物化学检测的微芯片量热计发展综述[J]测控技术.2022,(06)
[9]郭林琪;张梅菊;金毅;王禹森;胡国胜;杨伸勇;张丛春;.基于热电堆的新型高温薄膜热流传感器的研制[J]传感技术学报.2022,(09)
[10]刘云东;王高;张丛春;黄漫国;.薄膜热电堆热流传感器频率响应动态特性研究[J]传感器与微系统.2022,(11)
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承担国家科研项目    共找到1个
[1]张丛春;.硅衬底上集成的新型可调微波电容器研究[A].上海交通大学;.项目经费 23万元.2007-03-31.资助文献数 2 篇
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