梁德丰
【姓名】 梁德丰
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 SPC,控制图,半导体晶圆制造,过程控制,半导体,SPC技术,极差图,半导体制造,工业工程研究,SPC控制,平均极差,受控状态,工艺过程,C数,SPC系统,移动极差,监控工艺,单值,生产过程,控制频率...
【工作单位】 上海理工大学
【曾工作单位】 上海理工大学;
【所在地域】 上海
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[1]梁德丰,梁静,钱省三.SPC在半导体晶圆制造厂的应用(下)[J]半导体技术.2004,(05)
[2]梁德丰,钱省三,梁静.SPC在半导体晶圆制造厂的应用(上)[J]半导体技术.2004,(03)
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