李昌明
【姓名】 李昌明
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 掩模板,PMMA,LIGA,同步辐射光刻,X射线,微机电系统,微加工,深度光刻,同步辐射,光刻胶,Ｘ射线,吸收器,信息存储,上海交通大学,二次电子,研究中心,高块,金刚石膜,支撑膜,费涅尔衍射,
【工作单位】 上海交通大学
【曾工作单位】 上海交通大学;
【所在地域】 上海
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[1]朱军,赵小林,丁桂甫,陈迪,倪智萍,李昌明,郭晓云,毛海平.LIGA掩模板的制备与同步辐射X射线深度光刻的研究[J]微细加工技术.2000,(03)
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